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近日,杭(hang)州(zhou)立昂微(wei)電子股(gu)份有限公司再傳佳報,浙江省(sheng)第一(yi)根擁有完全自主(zhu)知識(shi)產權的量產型集(ji)成電路用(yong)12英(ying)寸硅單晶棒在衢州(zhou)拉制成功。7月2日上(shang)午(wu),在立(li)昂微子公司金(jin)瑞泓微電子(衢州)有限公司寬闊明(ming)亮的(de)現代化(hua)標準單(dan)晶廠(chang)房內,一根(gen)長1.5米、兩頭呈錐形,重達270公斤,通體如(ru)烏(wu)金(jin)般發亮的(de)12英寸半(ban)導體級硅(gui)單(dan)晶棒在經過100多個(ge)小時的(de)連續(xu)超高溫融化(hua)生長后順利出爐。
這(zhe)標志著立(li)昂(ang)微(wei)半導體硅材料業務板塊(kuai)的(de)12英寸大硅片產業化(hua)布局(ju)取得(de)了(le)初步成效,在最核心最關鍵的(de)拉晶環節取得(de)了(le)重大技術突破。可以(yi)說,立昂(ang)微在半導體硅材料領域即將迎來一(yi)次(ci)質(zhi)的飛躍,12英寸硅片(pian)產業化進程跨上一(yi)個新的臺階(jie)。
硅(gui)單晶(jing)棒是生產(chan)硅(gui)片的(de)關(guan)鍵性步驟,拉晶(jing)過程是硅(gui)片制造的(de)重中之重,核(he)心技術(shu)中的(de)核(he)心,對工(gong)藝、材料和(he)設備的(de)要求(qiu)極高,之后再(zai)經切割、研磨(mo)、清洗(xi)、拋光以及(ji)外延等(deng)數十(shi)道工(gong)序制備成硅(gui)拋光片或(huo)硅(gui)外延片,然后成為芯(xin)片的(de)“地基“。硅(gui)片直徑越(yue)大對材料和技術的要求越(yue)高(gao),制造難(nan)度(du)也(ye)越(yue)大。長(chang)期以(yi)來,12英寸半(ban)導體硅片由日(ri)本(ben)、德(de)國(guo)、韓國(guo)等國(guo)家(jia)的公司(si)占據(ju)全球97%以(yi)上的市場份額。目(mu)前為止,我國集成電路用(yong)12英寸(cun)硅片正片幾乎全部(bu)依賴進口。
據了解,立昂微(wei)是(shi)我國(guo)少(shao)有的具有硅(gui)單晶錠(ding)、硅(gui)研磨片、硅(gui)拋(pao)光片、硅(gui)外延片及(ji)芯片制造(zao)的完整(zheng)產業鏈的集(ji)成電(dian)路(lu)企(qi)業,涉及(ji)半(ban)導體(ti)硅(gui)材料(liao)、半(ban)導體(ti)功率器件(jian)、集(ji)成電(dian)路(lu)制造(zao)三大業務(wu)板塊,其中半(ban)導體(ti)硅(gui)材料(liao)作為立昂微(wei)最核(he)心的業務(wu)板塊之一,早在(zai)2016年底(di)就在(zai)浙江衢(qu)州投資建設了除寧波以外的第二個半(ban)導體(ti)硅(gui)片生產基地,先后成立了金瑞(rui)泓科技(衢(qu)州)有限公(gong)司和金瑞(rui)泓微(wei)電(dian)子(衢(qu)州)有限公(gong)司。
該基地(di)經(jing)過近一年(nian)的建設,8英寸(cun)(cun)硅外延生產(chan)線(xian)在2018年(nian)4月建成投產(chan)并實(shi)現批量銷(xiao)售(shou),8英寸(cun)(cun)的單(dan)晶、切、磨(mo)、拋廠房(fang)也(ye)將在2019年(nian)三季度(du)建成投產(chan),屆時將全(quan)線(xian)拉通8英寸(cun)(cun)硅單(dan)晶、硅拋光片、硅外延片生產(chan)線(xian)。而今,隨著(zhu)12英寸半導體(ti)級硅單晶的技術(shu)突(tu)破,將有效帶動立昂(ang)微向高端產品發展(zhan),逐漸提升(sheng)在半導體(ti)硅材(cai)料上的競(jing)爭新優勢,也(ye)將形成(cheng)良好(hao)的產業(ye)(ye)生態(tai),推(tui)(tui)動行業(ye)(ye)不斷(duan)進步,共同(tong)推(tui)(tui)進我(wo)國集成(cheng)電路(lu)產業(ye)(ye)國產化加快發展(zhan)。
來源:內容來自「長江商報」
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